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真空技術(shù)直接影響MOVPE 外延工藝水平，因此保證設(shè)備真空穩(wěn)定運行顯得尤為重要。根據(jù)MOVPE 設(shè)備運行原理，真空系統(tǒng)故障大體分為如下類型。
1 機械故障
機械故障導(dǎo)致的真空度不穩(wěn)定是MOVPE 最常見的故障類型。MOVPE 設(shè)備真空反應(yīng)室及真空管道、閥門等機械部件偏離正常狀態(tài)，真空系統(tǒng)喪失部分或全部功能，導(dǎo)致真空系統(tǒng)故障。根據(jù)機械零件失效理論，這類故障一般包括機械零件磨損失效、零件斷裂失效、金屬零件的腐蝕失效、真空零件變形失效等。理論上講，零件出現(xiàn)缺陷是機械故障的總根源。曾發(fā)現(xiàn)過蝶閥閥芯上的膠圈腐蝕、變形，導(dǎo)致閥芯卡死，不能實時調(diào)節(jié)真空壓力值；或者管道中球閥與控制其開閉的氣動閥之間的固定銷斷裂，導(dǎo)致閥門常開或者常閉，影響真空管道排氣等故障。
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